Wat00095 こっぺい様、KATSU様へお返事

#0000 kimot    8901120208

関連に執筆者よりの「超清浄化技術」に関する返答を
アップしました。
                 科学朝日 木元・拝

#0001 kimot    8901120209

 こっぺい様、KATSU様、『科学朝日』2月号の「はいてく・すくえあ」
の執筆者より、早速回答がございましたので、ここにアップさせて頂きます。
                           科学朝日・木元拝
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sci1017 sci2176 さんへお答え

 「科学朝日」2月号の「スーパー・クリーン・テクノロジー」にご注目いた
だいて、ありがとうございました。

[sci1017さんへ]

1,東北大学の片平キャンパスにある「スーパー・クリーン・ルーム」は、ご
指摘のとおり、外部の人は入れません。「科学朝日」2月号に掲載した同ルー
ムの写真の多くが東北大学提供の写真なのは、そのためです。どこのクリーン・
ルームでもそうで、この分野の取材の泣きどころです。しかも記事に書いたよ
うにクリーンルームは重電工場やブラウン管工場などまで、どんどん広がって
いるので、これからどうしたらいいか、頭の痛いところです。

2,ただ、東北大学のクリーン・ルームは、施設の玄関のところに内部で使っ
ている部品(例の内面研磨のボンベなど)の見本を展示してあって、そこまで
は許可をもらえれば入れます。

3,見学者用の防塵服も一応用意してあるようですので、事前に特に見学許可
を取って行けば内部に入れると思います。ただし、最も低いレベルの防塵服な
ので、入れてもサービスエリアの外側まででしょう。それも、できるだけ制限
しているようです。超清浄化維持のために止むをえないことですが。

4,本格的には、東北大工学部の各研究室で、企業派遣の研究員を受入れてい
るようです。それなら内部で研究することもできるわけですが−−。

                           大山 茂夫

[sci2176さんへ]

1,メーカーで製造しているガスや液体酸素・液体窒素などは、大見忠弘教授
のグループが調べたところでは、予想以上にクリーンであったということです。
したがって、当面は、その輸送、供給上の問題が大きいということになります。

2,そのため、もちろんタンクローリーも内面を研磨した特別のもので、貯蔵
タンクへ供給するホースなども、大気汚染を避ける装置を付けたものが使われ
ています。

3,このようなタンク、ボンベ、バルブ、パイプなどの製品は、いま業界で「
東北大レベル」と呼ばれ、いろんなメーカーが製造を始めています。ただし、
これまでの製品より当然ながら高価になるので、新設の半導体工場でもカナメ
のところだけに採用する企業が多いようです。

4,昨年11月ごろに「日経マイクロデバイス」誌の増刊号として、大見教授
らが中心になって書いた「超クリーン化技術」(日経BP社、5000円)という
本が出ています。それにタンクローリーなどについての技術開発の話も出てい
ます。今のところ東北大のスーパー・クリーン化技術の全容については、これ
が一番まとまった本です。専門的な内容ですが、ご関心があればどうぞ。

                           大山 茂夫

#0002 sci2176  8901141206

 木元様、大山様

 大変詳しく説明を頂きありがとうございました。
 とても納得のいくご返事を頂き、感謝しております。
 これからも、楽しい記事をよろしくお願い致します。

                                        KATSU