Wat00095 こっぺい様、KATSU様へお返事 #0000 kimot 8901120208 関連に執筆者よりの「超清浄化技術」に関する返答を アップしました。 科学朝日 木元・拝 #0001 kimot 8901120209 こっぺい様、KATSU様、『科学朝日』2月号の「はいてく・すくえあ」 の執筆者より、早速回答がございましたので、ここにアップさせて頂きます。 科学朝日・木元拝 −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− sci1017 sci2176 さんへお答え 「科学朝日」2月号の「スーパー・クリーン・テクノロジー」にご注目いた だいて、ありがとうございました。 [sci1017さんへ] 1,東北大学の片平キャンパスにある「スーパー・クリーン・ルーム」は、ご 指摘のとおり、外部の人は入れません。「科学朝日」2月号に掲載した同ルー ムの写真の多くが東北大学提供の写真なのは、そのためです。どこのクリーン・ ルームでもそうで、この分野の取材の泣きどころです。しかも記事に書いたよ うにクリーンルームは重電工場やブラウン管工場などまで、どんどん広がって いるので、これからどうしたらいいか、頭の痛いところです。 2,ただ、東北大学のクリーン・ルームは、施設の玄関のところに内部で使っ ている部品(例の内面研磨のボンベなど)の見本を展示してあって、そこまで は許可をもらえれば入れます。 3,見学者用の防塵服も一応用意してあるようですので、事前に特に見学許可 を取って行けば内部に入れると思います。ただし、最も低いレベルの防塵服な ので、入れてもサービスエリアの外側まででしょう。それも、できるだけ制限 しているようです。超清浄化維持のために止むをえないことですが。 4,本格的には、東北大工学部の各研究室で、企業派遣の研究員を受入れてい るようです。それなら内部で研究することもできるわけですが−−。 大山 茂夫 [sci2176さんへ] 1,メーカーで製造しているガスや液体酸素・液体窒素などは、大見忠弘教授 のグループが調べたところでは、予想以上にクリーンであったということです。 したがって、当面は、その輸送、供給上の問題が大きいということになります。 2,そのため、もちろんタンクローリーも内面を研磨した特別のもので、貯蔵 タンクへ供給するホースなども、大気汚染を避ける装置を付けたものが使われ ています。 3,このようなタンク、ボンベ、バルブ、パイプなどの製品は、いま業界で「 東北大レベル」と呼ばれ、いろんなメーカーが製造を始めています。ただし、 これまでの製品より当然ながら高価になるので、新設の半導体工場でもカナメ のところだけに採用する企業が多いようです。 4,昨年11月ごろに「日経マイクロデバイス」誌の増刊号として、大見教授 らが中心になって書いた「超クリーン化技術」(日経BP社、5000円)という 本が出ています。それにタンクローリーなどについての技術開発の話も出てい ます。今のところ東北大のスーパー・クリーン化技術の全容については、これ が一番まとまった本です。専門的な内容ですが、ご関心があればどうぞ。 大山 茂夫 #0002 sci2176 8901141206 木元様、大山様 大変詳しく説明を頂きありがとうございました。 とても納得のいくご返事を頂き、感謝しております。 これからも、楽しい記事をよろしくお願い致します。 KATSU